半导体厂含砷废水处理案例
文章来源:ynddj.cn | | 阅读量:105 公布時间:2026-08-03
东莞某半导体行业工业企业低密度含砷电镀废水整理活动(正离子交互纵深除砷加工)
一、内容后台
郑州某光电器件中小企业主针对砷化镓晶片切割器、蚀刻与考虑流程,种植历程中诞生低盐浓度含砷清洗阴道生产废水,日整理量 120m³(5m³/h)。源水饮用水:总砷 0.4-0.6mg/L(分別 0.5mg/L)、pH 6.5-7.5、悬浮物物 50-80mg/L、含氢化物发生器氟阳离子与磷酸。的行业排污规范规范(GB 39731-2020)总砷最大限度 0.5mg/L,中小企业主内控规范规范≤0.01mg/L,传统的化学发展法满水后跌涨大、易于动态平衡达到,且污水产量比高,需制作高精密度、低污水的整工院艺。
二、制作工艺首选与设定
经小试比较普通机械制造沉定、溶解、铁化合物调换等制作技艺,不可能运用机械制造过滤程序 + 几丁质酶炭溶解 + Tulsimer A-62MP 重型铁化合物调换树酯组合式制作技艺,管理的本质优越性为办理准确度就越高、操作稳定的、飞灰量特少、自功化度就越高。
机器脱水模快:按照石英石砂脱水器,消除废河中透明桌面物、悬浊液小粒及组成部分大脂溶性巧妙物,入水阻力 0.2-0.3MPa,脱水流体密度 8m/h,截流粒度≥20μm,杜绝沉渣堵塞过售后聚酯聚酯树脂,拉低聚酯聚酯树脂感染传送速度。
活力性酶炭物理粘附剂单元测试卷:常用柱型椰壳活力性酶炭(碘值≥1000mg/g),物理粘附剂一般的水都少量有机的物、余氯及大部分砷的络合结构,进一部净化系统水质监测,保护好阳离子变换硅胶粘合剂,物理粘附剂排斥日期 30min,活力性酶炭图案填充量 1.2m³,每 3 三个月重复第一次。
亚铁正化合物对换单元式:主要为 Tulsimer A-62MP 大孔强酸性阴亚铁正化合物对换硅胶粘合剂材料,该硅胶粘合剂材料对砷酸根(AsO₄³⁻)、亚砷酸根(AsO₂⁻)具备有高选定性硅橡胶吸附水平,不会遭受正规阴亚铁正化合物(Cl⁻、SO₄²⁻)干预。硅胶粘合剂材料选中量 2.5m³,对换柱直径不低于 1.2m、间距 2.4m,来说水力停歇期限 15min,程序运行空气流速 5m/h;硅胶粘合剂材料饱满后用 4% NaOH 盐溶液重复,重复液需水量为硅胶粘合剂材料重量的 2 倍,重复期限 4h,重复后用白水冲刷至普通,反复的采用,重复周期性约 7 天。
三、详细完整运作方案
废气采集:生产加工含砷废气经管道工程流入可以缓解池,均质均量,可以缓解池有用体积 50m³,滞留精力 10h,池内使用曝气池搅拌设备传动装置,解决悬停物沉淀出的,安全稳定漏水水源排水量。
物理筛选:调高池废水处理经泵大幅提升至石英砂砂筛选器,祛除悬停物后,满水后悬停物≤5mg/L,水自渗入抗逆性炭气体吸附罐。
几丁质酶炭溶解:废水处理方法与几丁质酶炭足够玩,清除无机物与硫氰酸盐后,出液开始铝离子互转柱,采取深入除砷。
化合物相互互换除砷:污水由上而下流过不饱和硅橡胶胶层,砷酸根、亚砷酸根与不饱和硅橡胶胶上 Cl⁻发生了相互互换影响,砷化合物被不饱和硅橡胶胶吸附物,溢水总砷≤0.01mg/L,标准后造纸废水处理至分娩道工序或产生。
硅胶粘合剂重复利用:当冒水砷质量浓度>0.008mg/L 时,再启动重复利用子程序:先反洗(青水自下而上冲泡器硅胶粘合剂层,取除表面能悬浮物,反洗风速 10m/h,的期限 15min)→重复利用(4% NaOH 稀硫酸至上而下最长的河流硅胶粘合剂层,过柱吸附性的砷铁离子,重复利用风速 2m/h)→正洗(青水至上而下冲泡器硅胶粘合剂,取除农药残留重复利用液,正洗风速 5m/h,的期限 30min)→紧急,重复利用残液自身后密集进行处理,预防首次环保问题。
四、正常运行感觉与数据文件分享
投资项目间隔运作 12 月,基本因素动态平衡考核标准,基本数据统计详细:
进水量总砷:0.4-0.6mg/L(均值 0.5mg/L);
冒水总砷:0.003-0.008mg/L(的平均 0.005mg/L),除去率≥99%;
喷水 pH:6.8-7.2,不符合循环标准;
树脂胶二次利用期限:7±1 天,二次利用液砷溶度约 15-20mg/L,二次利用废渣经普通机械悠长岁月中处里后符合标准废气;
飞灰生产产量:仅为民俗化学沉积法的 5%,急剧下降飞灰防范投入。
五、成本费用与效益剖析剖析
进行投入成本价:总进行投入 180 多多万块人民币,中间机器设备费 120 多多万块人民币(滤出罐、气体吸附罐、铁离子交換柱、泵、自动化程序等)、连接费 30 多多万块人民币、调整还有其他学费 30 多多万块人民币。
启动利润:约 2.8 元 /m³,包涵树酯消耗(0.5 元 /m³,树酯便用使用时间 3-5 年)、药物费(0.8 元 /m³,NaOH、硫酸等)、电费缴费(0.6 元 /m³)、人工客服及养护费(0.9 元 /m³)。
经济效益:出水出水不稳定性实现内控标准规范,以免 环保标准偏高概率;加工后电镀废水的回收利用率达 80%,年抑制杭州自来水预算约 40 万块人民币;飞灰减量化 95%,年抑制飞灰加工预算约 25 万块人民币,综合性年净报酬率约 60 万块人民币,投资项目的回收利用期 3 年。
六、成功案例个人总结
本产品针对性半导体器件低浓硫酸氧化还原电位含砷废水进行处理进行处理工艺进行处理方法 “低浓硫酸氧化还原电位、高控制精度追求、水质检测繁复” 的特点,选取正离子交互结构生产工序,好进行处理常用生产工序水流价格波动、活性活性污泥量大的问题。生产工序智能化化水平高,实操简约,程序运行平衡,除砷效用比较好,水流总砷平衡≤0.01mg/L,的同时达成废水进行处理进行处理工艺进行处理方法中水回用与活性活性污泥减量化,相辅相成环保社会经济发展与成本社会经济发展,为光电的行业低浓硫酸氧化还原电位含砷废水进行处理进行处理工艺进行处理方法深层进行处理打造可另存的技木计划方案。