硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法
文章来源:ynddj.cn | | 阅读量:80 发表过时:2026-07-14
该厂为85英寸晶圆呈现线搭配的超纯净水装置,一天呈现含硅污水150吨。污河中虽无天价属,但硅量高易积垢,且电阻器率需提高18MΩ·cm就能回收利用。已有治理 技艺不可提供新修订的《智能工农业水的污物减排量标准规范》(GB39731-2020)越来越减排量标准值。
废渣营养成分特征
关键感染物
:固体硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(孔径0.1-1μm)
特异必须
:TOC<10μg/L,硼含碳量<5μg/L
水质标准性能指标
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机物形式复杂的
外理流程步骤流程步骤
信息化选择"梯级膜分離+电去化合物"组合名字工艺设备:
微滤预净化处理
:1μm工业陶瓷膜过滤大粒状硅,通量保证80LMH
铁离子传递环氧树脂
:D201大孔树脂胶选泽性降解硅酸原子核
下级RO设备
:一段收废率60%,二段进行高脱硼膜零件
EDI电去正离子
:直流电孔隙率2A/m²,持续时间清掉残渣化合物
UV紫外线杀菌的
:254nmUV直射线分子量40mJ/cm²
技術创新举措
的开发专业阻硅剂(有机化学胺类混合物),减缓膜影响周期怎么算3倍
EDI模组信息化流道结构设计,硅出掉率升降至99.8%
免费在线硅定量测试仪(在线测量条件0.1-500μg/L)体现精准服务掌控
启用阶段性成果
经第二方测试:
总硅从280mg/L降到0.05mg/L
硼水分含量从8μg/L降下来0.3μg/L
装置出售率从原40%上升至68%
膜调换定期延时至5年,年运作人工成本调低35%