高硅废水怎么处理方法|高硅废水处理案例
文章来源:ynddj.cn | | 阅读量:140 撤稿精力:2026-07-08
业务历史背景
杭州某半导体行业厂制造环节中一并引起高硅废气处理工艺(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟废气处理工艺(F⁻ 200-300mg/L)。哪几种废气处理工艺混合型喂养时易确立氟硅酸氢氧化铁,普通化学水解法无发平衡达到标准化。创业项目条件同步软件清掉硅和氟(环保排放标准化标准化:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
化工废水因素及来源于
重要组成
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
主要来源
:晶圆刻蚀废污水、CMP打磨废污水、机 冲刷水
除理生产制作工艺步骤
协作积淀阶段中
:
多级的反应池
:
一号级添加Ca(OH)₂转化成CaF₂和CaSiO₃析出;
其次级污泥脱水PAC(汇聚氯化铝)进行强化二沉池。
固液脱离一阶段
:
反渗透膜软件
:主要包括0.02μm外径膜控件挤占氢氧化铁硅和微细沉淀物物。
纵深脱氟时段.
:
几丁质酶阳极氧化铝粉物理吸附塔
:残留氟铝离子离心分离彻底清除。
进而治疗效果
喷水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远远低于国家的规范标准。
反渗透装置系統通量平衡在15LMH,有机化学洁净时间间隔提升至60天。
污泥处理经压滤后含水量率<65%,可按应该危险废物应对。