电子级磷酸废水怎么处理|电子级磷酸废水如何处理
文章来源:ynddj.cn | | 阅读量:82 发表文章时间段:2026-06-27
该案例分享出于豫东国家一个大一些的半导体器件生育客户,主耍生育智能家居控制电路系统除理器。在生育过程中中,晶圆除垢、蚀刻等生产工序需运行大批电子厂级磷酸(色度≥85%),由此可见制造高酸度含磷电镀废水。客户原先除理配套设施是无法充分满足也日益坚持原则的摆放标准规范(TP≤0.5mg/L),现需更新升级进行改造。
生产废水材料及起源
废液最主要起原于二个基本原则:晶圆擦拭废液(占总需水量60%)、产品擦洗废液(30%)或者室内地坪擦洗废液(10%)。水体特性展示为:pH值1.5-2.5,总磷有机废气浓度800-1200mg/L,氟亚铁离子含氧量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并含有氢化物发生器巨资属(铜、锌等)。
治疗工艺设计程序
的项目通过"流程处理+物理化学沉定+高级的氧化物+厚度过滤装置"的女子组合流程:
调理池
:营养均衡水的质量排水量,均有pH同屏环境监测器软件
一級发应池
:加药石粉乳调节器pH至8.5-9.0,建立Ca3(PO4)2析出
二次元发应池
:增多PAC和PAM提升二沉池效果好
斜板沉淀物中池
:做到固液分割,厌氧颗粒污泥进去脱水处理体系
Fenton氧化的单位
:H2O2与Fe²⁺一体化用生物降解有机会物
多媒质滤出器
:石英石砂+亲水性炭组和吸附,切实保障出水出水明净
正离子更换系统性
:进一个步骤清掉残余物五金阳离子
结果结果
系统性正常运作增强后,出水量水质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟阳离子≤5mg/L,四项公式远低于《电子技术重工业水空气废弃物废气出规范》(GB 39731-2020)。历年减小磷废气出约15吨,废水引起量较经典新工艺减小40%,正常运作人工成本调节在8.十元/吨水。