电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理
文章来源:ynddj.cn | | 阅读量:103 撤稿日期:2026-06-27
该晶圆打造厂座落在华东地域地域,一般产量销售8寸大光电器件晶圆,每日焦化废水消耗量下跌量约800吨。由产量销售的过程 中运用一大批氢氧化钠做晶圆蚀刻,造成焦化废一般的水都氟化物盐浓度独角兽高达200-300mg/L,远超地方消耗量下跌标(10mg/L这)。
废液部分及源
污水基本存在3个节点:
晶圆蚀刻流程
:含浓度较高的值氟化物(HF)、硝酸银及多量血本属
化学物质机械装备拋光(CMP)化工废水
:含微米级硅颗粒状、可挥发络合剂
机械的洗涤焦化废水
:含异丙醇、挥发酚等有机质物
处置艺流量
分为"化工乳浊液+沥青混凝土乳浊液+层次净化"三级分销进行处理系统化:
两级进行处理
:加药氯化钙和氢防氧化钙,组成氟化钙乳浊液,氟化物除掉率达85%
二次元治理
:插入PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),的还原悬浊液态环保问题物
三阶段净化处理
:能够多有机溶剂全自动过滤器中器和亲水性炭溶解,满水后氟化物浓硫酸浓度稳定性在8mg/L下面
关键性机械还包括:pH自主控制装置、斜管积累池、板框带式压滤机(活性污泥脱水怎么办)。
终究效率
投资项目执行2年污染监测大数据体现 :
氟化物一般渗透压:7.2mg/L(低过地方规范)
COD取除率:92%
淤泥含水量率:≤65%
年回收分类处理氟化钙副好产品约150吨,实现目标信息化再生利用